标准详情
- 标准名称：半导体工艺用安时计现场校准规范
- 标准号：JJF(电子)0060-2021
- 发布日期：2021-12-02
- 实施日期：2021-12-02
- 代替标准：
- 归口单位：
- 发布部门：国家市场监督管理总局
JJF(电子)0060-2021 半导体工艺用安时计现场校准规范
JJF(电子)0060-2021
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标准JJF(电子)0060-2021标准状态
- 发布于：2021-12-02
- 实施于：2021-12-02
- 废止
内容简介
本规范适用于半导体电镀工艺线用直流电流≤300A、直流电压≤1000V、安时≤2000AH的安时计的现场校准。安时计主要应用于电镀电源、整流机等与电化学产品有关的安时的测量,多数具有掉电数据保持能力,可连续测量安时参数,实时显示并报警,并根据安时统计数据实现自动控制加料.安时计的主要工作原理就是接受直流稳定电源信号输入,测量端口电压、回路电流、累计时间,计算得到安时参数并显示出来,与预先设定的安时量比较,一旦达到上限值立即报警并控制继电器开关工作,从而开启电镀液泵开关,达到自动加液的目的。
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