JJF(电子)0072-2021 非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范

JJF(电子)0072-2021

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  • 标准名称:非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范
  • 标准号:JJF(电子)0072-2021
  • 发布日期:2021-12-02
  • 实施日期:2021-12-02
  • 代替标准:
  • 归口单位:
  • 发布部门:国家市场监督管理总局

内容简介

本本规范适用于测试范围在0.1Ω·CM~200.0Ω·CM(厚度100ΜM~1000ΜM)的非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统的校准。电阻率测试系统主要是利用无接触电涡流探头系统,检测由被测半导体晶片感应的涡流,辅以控制器进行信号处理完成对半导体晶片电阻率的无损测量。它主要由涡流探头、高频线圈和控制器等部分组成。

起草单位

起草人

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