SJ/Z 2927-1988 集成电路制版设备名词术语
SJ/Z 2927-1988
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标准SJ/Z 2927-1988标准状态
- 发布于：1988-03-10
- 实施于：1988-10-01
- 废止
内容简介
本指导性技术文件规定的名词术语适用于集成电路光学制版主要设备的研制、使用、测试及验收。
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