GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范

内容简介

国家标准《光掩模对准标记规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。 本规范适用于光掩模。

起草单位

中国科学院微电子中心、

起草人

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