GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范

Specification for round quartz photomask substrates

GB/T 16523-1996

国家标准推荐性

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标准GB/T 16523-1996标准状态

发布于：1996-09-09
实施于：1997-05-01
废止

标准详情

标准名称：圆形石英玻璃光掩模基板规范
标准号：GB/T 16523-1996
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
中国标准号：L90
国际标准号：31.200
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《圆形石英玻璃光掩模基板规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。

起草单位

长沙韶光微电子总公司、

起草人

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