GB/T 26111-2023 微机电系统（MEMS）技术 术语
Micro-electromechanical system technology—Terms
GB/T 26111-2023
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标准GB/T 26111-2023标准状态
- 发布于：2023-05-23
- 实施于：2023-09-01
- 废止
内容简介
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
起草单位
中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、无锡华润上华科技有限公司、北京航空航天大学、天津大学、西安现代控制技术研究所、北京晨晶电子有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、广州广电计量检测股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、华东光电集成器件研究所、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、西安知微传感技术有限公司、北京大学、中国科学院空天信息创新研究院、上海交通大学、北京航天控制仪器研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、天津新智感知科技有限公司、中国科学院微电子研究所、南京高华科技股份有限公司、广州奥松电子股份有限公司、江苏普诺威电子股份有限公司、
起草人
顾枫、 宋秀敏、 张大成、 夏长奉、 张卫平、 胡晓东、 刘奎、 熊斌、 崔波、 陈得民、 李晓波、 SHUMINZHANG、 杨飞、 高峰、 李根梓、孙立宁、夏善红、董全林、刘会聪、邢朝洋、张永斌、张威、王玮冰、明志茂、张宾、张胜兵、
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