GB/T 9506.6-1988 掺氮吸气剂钡膜分布测试方法

Test method for barium film distribution of nitrogen-doped getter

GB/T 9506.6-1988

国家标准推荐性

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标准GB/T 9506.6-1988标准状态

发布于：1988-06-25
实施于：1988-12-01
废止

标准详情

标准名称：掺氮吸气剂钡膜分布测试方法
标准号：GB/T 9506.6-1988
发布日期：1988-06-25
实施日期：1988-12-01
中国标准号：L32
国际标准号：31-030
代替标准：被GB/T 25495-2010代替
技术归口：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学电子技术专用材料

内容简介

本标准规定了掺氮吸气剂钡膜分布测试方法，适用于测定沉积在模拟玻壳颈、锥、屏上钡膜的重量分布和锥、屏上钡膜的厚度分布。测定条件应符合GB9506.1《吸气剂性能测试方法通则》中的有关规定。
国家标准《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

电子部741厂、

起草人

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