GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件
Generic specification for ion implantation equipment
GB/T 15862-1995
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标准GB/T 15862-1995标准状态
- 发布于：1995-12-22
- 实施于：1996-08-01
- 废止
内容简介
国家标准《离子注入机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。
起草单位
电子工业部第四十八研究所、
起草人
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