T/QGCML 1407-2023 半导体光伏制造用双套管密封装置
T/QGCML 1407-2023
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标准T/QGCML 1407-2023标准状态
- 发布于：2023-09-15
- 实施于：2023-10-01
- 废止
内容简介
本文件规定了半导体光伏制造用双套管密封装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存
本文件适用于半导体光伏制造用双套管密封装置的生产及检验
起草单位
武汉国伏科技有限公司、武汉安捷测网络营销有限公司、武汉阙途科技有限公司。
起草人
张国柱、郑蔚、刘忠华、刘媛媛。
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