SJ/T 11487-2015 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法
SJ/T 11487-2015
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标准SJ/T 11487-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
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内容简介
行业标准《半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法。本标准适用于半绝缘砷化镓、磷化铟、碳化硅等高阻半导体材料电阻率的测量,电阻率的测量范围为10Ω·cm~10Ω·cm。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人
何秀坤、董彦辉、刘兵
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