SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
SJ/T 11493-2015
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标准SJ/T 11493-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- 废止
内容简介
行业标准《硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了用二次离子质谱法(SIMS)对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。本标准适用于锑、砷、磷的掺杂浓度at·cm)的单晶样品,其中氮的浓度大于等于1×10at•cm。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人
马农农、何友琴、何秀坤
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