SJ/T 11494-2015 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法
SJ/T 11494-2015
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标准SJ/T 11494-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- 废止
内容简介
行业标准《硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法。本标准适用于低位错密度()硅单晶中导电性杂质硼、磷含量的测定,同时也适用于检测硅单晶中含量为1×10at•cm~5×10at·cm的各种电活性杂质。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人
李静、何秀坤、刘兵
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