SJ/T 11499-2015 碳化硅单晶电学性能的测试方法
SJ/T 11499-2015
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标准SJ/T 11499-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- 废止
内容简介
行业标准《碳化硅单晶电学性能的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了碳化硅晶体材料导电类型、电阻率、迁移率、载流子浓度的测试方法。本标准适用于在(-263.15~426.85)℃温度范围内,电阻率在1×10Ω·cm以下、晶型为6H和4H的碳化硅单晶的电学性能测试。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人
丁丽、郑庆瑜、蔺娴
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