SJ/T 11506-2015 集成电路用 铝腐蚀液

SJ/T 11506-2015

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标准SJ/T 11506-2015标准状态

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  • 标准名称:集成电路用 铝腐蚀液
  • 标准号:SJ/T 11506-2015
  • 发布日期:2015-04-30
  • 实施日期:2015-10-01
  • 中国标准号:L90
  • 国际标准号:31.030
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:电子学SJ 电子电子电子技术专用材料

内容简介

行业标准《集成电路用 铝腐蚀液》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了集成电路用铝腐蚀液(以下简称铝腐蚀液)的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用铝腐蚀液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

起草单位

江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

戈士勇、何珂、王周霞、

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