SJ/T 11506-2015 集成电路用 铝腐蚀液
SJ/T 11506-2015
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标准SJ/T 11506-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- 废止
内容简介
行业标准《集成电路用 铝腐蚀液》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了集成电路用铝腐蚀液(以下简称铝腐蚀液)的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用铝腐蚀液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。
起草单位
江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
戈士勇、何珂、王周霞、
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