SJ 20843-2002 砷化镓单晶AB微缺险密度定量检验方法

SJ 20843-2002

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内容简介

本标准规定了砷化镓单晶中AB微缺陷密度的定量检验方法。本标准适用于晶向为

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六所

起草人

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