SJ 20844-2002 半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法
SJ 20844-2002
行业标准 强制性
收藏
报错
标准SJ 20844-2002标准状态
- 发布于：2002-10-30
- 实施于：2003-03-01
- 废止
内容简介
本标准规定了半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性测量方法。本标准适用于半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性的测试。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六所
起草人
相近标准
SJ20842-2002砷化镓表面砷镓比的测试方法
SJ20843-2002砷化镓单晶AB微缺陷密度定量检验方法
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。