SJ/Z 1610-1980 硅外延片缺陷图集
SJ/Z 1610-1980
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标准SJ/Z 1610-1980标准状态
- 发布于：1980-05-27
- 实施于：1980-06-03
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内容简介
本图集汇集了晶向n/n+和p/p+硅外延片常见的具有典型性的宏观表面缺陷及在表面观察到的微观缺陷。按缺陷种类分为片子外形缺陷、表面突起缺陷、表面凹坑缺陷、雾状表面缺陷及晶格缺陷等五类,共26种。
起草单位
起草人
相近标准
SJ1549-1979硅外延片(暂行)
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