标准详情
- 标准名称:电子级氩中痕量氢与甲烷的测定方法.氩离子化气相色谱法
- 标准号:SJ 3240-1989
- 发布日期:1989-03-20
- 实施日期:1989-03-25
- 中国标准号:L90
- 国际标准号:31-030
- 代替标准:
- 技术归口:
- 主管部门:
- 标准分类:电子学综合SJ 电子标准化管理与一般规定技术管理
本标准适用于电子级氩气中痕量氢与甲烷的测定。当进样量为3m1时。其测定范围氢为0.5~25ppm,甲烷为0.3~20ppm。
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SJ3243-1989磷化铟单晶棒及片
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SJ3244.2-1989砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法
SJ3244.3-1989砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法
SJ3244.4-1989砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法-电化学电压电容法
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SJ3245-1989磷化铟单晶位错的测量方法
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