SJ 3242-1989 砷化镓外延片

内容简介

本标准规定了砷化镓气相外延片和液相外延片的牌号命名法、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于制备场效应晶体管、变容二极管。霍耳器件及耿氏器件用的砷化镓外延片。

起草单位

起草人

相近标准

SJ3244.1-1989砷化镓和磷化铟材料霍尔迁移率和载流子浓度的测量方法
SJ3244.2-1989砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法
SJ3244.3-1989砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法
SJ3244.4-1989砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法－电化学电压电容法
SJ3244.5-1989砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法
SJ3245-1989磷化铟单晶位错的测量方法
SJ3246-1989铝镓砷（ＡＬｘＧａ１－ｘＡｓ）材料中铝组分的光荧光测试方法
SJ3247-1989同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法
SJ3248-1989重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法
SJ3249.1-1989半绝缘砷化镓和磷化铟体单晶材料的电阻率测试方法