SJ 3243-1989 磷化铟单晶棒及片

内容简介

本标准规定了液封直拉法(LEC)生长的磷化铟单晶棒、片的牌号命名方法、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于制造光电器件、微波器件、集成电路衬底用的液封直拉磷化铟单晶棒、片。

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