标准详情
- 标准名称：砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法
- 标准号：SJ 3244.2-1989
- 发布日期：1989-03-20
- 实施日期：1989-03-25
- 中国标准号：H80
- 国际标准号：29.045
- 代替标准：
- 技术归口：
- 主管部门：
- 标准分类：电气工程综合SJ 电子标准化管理与一般规定技术管理
SJ 3244.2-1989 砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法
SJ 3244.2-1989
行业标准 强制性
收藏
报错
标准SJ 3244.2-1989标准状态
- 发布于：1989-03-20
- 实施于：1989-03-25
- 废止
内容简介
本标准规定了异质结外延层与衬底之间晶格失配的测量原理、步骤、计算方法。本标准适田于以下范围：外延层表面晶向偏差小于1.5^(·)。多层外延层总厚度不大于10μm。
起草单位
起草人
相近标准
SJ3244.4-1989砷化镓和磷化铟材料载流子浓度剖面分布的测试方法－电化学电压电容法
SJ3244.5-1989砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法
SJ3245-1989磷化铟单晶位错的测量方法
SJ3246-1989铝镓砷（ＡＬｘＧａ１－ｘＡｓ）材料中铝组分的光荧光测试方法
SJ3247-1989同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法
SJ3248-1989重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法
SJ3249.1-1989半绝缘砷化镓和磷化铟体单晶材料的电阻率测试方法
SJ3249.2-1989半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
SJ3249.3-1989半绝缘砷化镓中铬浓度的红外吸收测试方法
SJ3249.4-1989半绝缘砷化镓中ＥＬ２浓度的红外吸收测试方法
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。