SJ 3244.3-1989 砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法

内容简介

本标准规定了砷化镓、磷化铟单晶锭端面及晶片晶向的X射线衍射测量原理、测量步骤、结果计算以及精度。本标准适用于晶片表面大体平行于(10^(·)以内)某一低密勒指数原子面的单晶片的晶向测定。

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