SJ 3244.5-1989 砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法

内容简介

本标准适用于n型、P型砷化镓和磷化铟单晶及高阻衬底外延层，载流子浓度在1×lO^(12)～5×10^(15)cm^(-3)范围的半导体材料的补偿度的测试分析。原则上也适用于其他Ⅲ－V族化合物材料补偿度的测试分析。

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