SJ 3245-1989 磷化铟单晶位错的测量方法

内容简介

本标准规定了磷化铟单晶(100)面和(111)In面位错的腐蚀显示及显微测量的原理、仪器试剂、测量步骤。本标准适用于位错密度在0～10^(5)/cm^(2)范围的单晶测量，被检测晶面的晶向偏差在5°以内。

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