JC/T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件
JC/T 181-2011
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标准JC/T 181-2011标准状态
- 发布于：2011-12-20
- 实施于：2012-07-01
- 废止
内容简介
行业标准《半导体用透明石英玻璃器件》由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其他用途的透明石英玻璃器件可参照本标准执行。
起草单位
中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院
起草人
吴洁、杨小会
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