SJ/T 31452-1994 水处理设备完好要求和检查评定方法
SJ/T 31452-1994
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标准SJ/T 31452-1994标准状态
- 发布于：1994-04-15
- 实施于：2002-05-23
- 废止
内容简介
本标准规定了电子工业元器件生产中水处理设备的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子工业企业电子元器件、集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造设备。本标准规定了电子工业元器件生产中水处理设备的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子工业企业电子元器件、集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造设备。
起草单位
国营华东电子管厂
起草人
沈鹏
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