SJ/T 31455-1994 反渗透装置完好要求和检查评定方法

SJ/T 31455-1994

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标准SJ/T 31455-1994标准状态

发布于：1994-04-15
实施于：1994-06-01
废止

标准详情

标准名称：反渗透装置完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31455-1994
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
中国标准号：L95
国际标准号：31-550
代替标准：
技术归口：
主管部门：电子工业部
标准分类：电子学 SJ 电子机械通用机械与设备分离机械

内容简介

本标准规定了电子工业元器件生产用电子级水制造设备反渗透装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子工业企业电子元器件，集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的反渗透装置。本标准规定了电子工业元器件生产用电子级水制造设备反渗透装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子工业企业电子元器件，集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的反渗透装置。

起草单位

国营华东电子管厂

起草人

沈鹏

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