SJ/T 31460-1994 电渗析设备完好要求和检查评定方法

SJ/T 31460-1994

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标准SJ/T 31460-1994标准状态

发布于：1994-04-15
实施于：1994-06-01
废止

标准详情

标准名称：电渗析设备完好要求和检查评定方法
标准号：SJ/T 31460-1994
发布日期：1994-04-15
实施日期：1994-06-01
中国标准号：L95
国际标准号：31-550
代替标准：
技术归口：
主管部门：电子工业部
标准分类：电子学 SJ 电子化工化工机械与设备化工机械

内容简介

本标准规定了电子工业元器件生产中电子级水制造用电渗析设备完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子元器件，集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的电渗析设备。本标准规定了电子工业元器件生产中电子级水制造用电渗析设备完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子元器件，集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的电渗析设备。

起草单位

国营华东电子管厂

起草人

沈鹏

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