标准详情
- 标准名称:RD4500型离心干燥机完好要求和检查评定方法
- 标准号:SJ/T 31062-1994
- 发布日期:2010-02-25
- 实施日期:1997-01-01
- 中国标准号:L95
- 国际标准号:31-550
- 代替标准:
- 技术归口:
- 主管部门:
- 标准分类:电子学SJ 电子电子元器件与信息技术电子工业生产设备检验装用设备
本标准规定了RD-4500型离心干燥机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于RD-4500离心干燥机。其它半导体器件、集成电路生产用的类似结构离心干燥机亦可参照执行。
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