YS/T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

内容简介

行业标准《硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定，测定范围见表1。

起草单位

亚洲硅业(青海)有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司

起草人

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