SJ 21256-2018 溅射镀膜设备工艺验证方法
SJ 21256-2018
国家标准 强制性
收藏
报错
标准SJ 21256-2018标准状态
- 发布于：2018-01-18
- 实施于：2018-05-01
- 废止
内容简介
本标准规定了溅射镀膜设备工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于离子束溅射及磁控溅射镀膜设备(以下简称镀膜设备)工艺性能的验证。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人
佘鹏程、陈特超、张赛、胡凡
相近标准
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。