HG/T 5895-2022 工业用混合气体 硅烷/氮气
HG/T 5895-2022
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标准HG/T 5895-2022标准状态
- 发布于：2022-09-30
- 实施于：2023-04-01
- 废止
内容简介
行业标准《工业用混合气体 硅烷/氮气》由全国气体标准化技术委员会混合气体分技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体的制备方法、试验方法，确立了检验规则，规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求。本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。
起草单位
广东华特气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司等、昊华气体有限公司西南分公司、
起草人
傅铸红、孙福楠、张金波、
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