YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法

内容简介

行业标准《氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法》，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷)含量的测定，测定范围(质量分数)为0.000010%~0.10%。

起草单位

亚洲硅业(青海)股份有限公司、青海省亚硅硅材料工程技术有限公司、青海芯测科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司

起草人

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