YS/T 1234-2018 铬钼合金(CrMo)靶材
YS/T 1234-2018
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标准YS/T 1234-2018标准状态
- 发布于:2018-04-30
- 实施于:2018-09-01
- 废止
内容简介
行业标准《铬钼合金(CrMo)靶材》,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了工具薄膜用铬钼合金靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存和质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于工具薄膜制造用的各类铬钼合金靶材。
起草单位
宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、合肥江丰电子材料有限公司
起草人
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