SJ/T 11637-2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
SJ/T 11637-2016
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标准SJ/T 11637-2016标准状态
- 发布于：2016-10-22
- 实施于：2017-01-01
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内容简介
行业标准《电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了用电感耦合等离子体质谱法测定电子化学品中金属离子的测定方法。本标准适用于电子化学品中多种金属元素的测定。本标准适用于痕量测定，推荐直接进样检测的浓度小于1000μg/kg。本标准不适用于固体直接进样。
起草单位
杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
尹云航、陈玉英、周利超、
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