SJ/T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法
SJ/T 11638-2016
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标准SJ/T 11638-2016标准状态
- 发布于：2016-10-22
- 实施于：2017-01-01
- 废止
内容简介
行业标准《电子化学品中颗粒的测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了用激光粒子计数法测定液体电子化学品中颗粒的方法。本标准适用于液体电子化学品中颗粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径有0.1μm~1.0μm可选。测定的电子化学品的颗粒浓度为(0~10000)每毫升/个，其他粒径的可参考执行。
起草单位
杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
尹云航、陈玉英、裴会川、
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