YS/T 1141-2016 钛蒸发料

YS/T 1141-2016

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标准YS/T 1141-2016标准状态

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标准详情

  • 标准名称:钛蒸发料
  • 标准号:YS/T 1141-2016
  • 发布日期:2016-07-11
  • 实施日期:2017-01-01
  • 中国标准号:H64
  • 国际标准号:77.150
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)
  • 主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金有色金属产品YS 有色金属钛产品

内容简介

行业标准《钛蒸发料》,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。

起草单位

有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人

张涛、刘书芹、何金江、万小勇、徐学礼、罗俊锋、丁照崇、王越、高岩、刘冬青、吴艳华

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