YS/T 1141-2016 钛蒸发料
YS/T 1141-2016
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标准YS/T 1141-2016标准状态
- 发布于：2016-07-11
- 实施于：2017-01-01
- 废止
内容简介
行业标准《钛蒸发料》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
起草单位
有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人
张涛、刘书芹、何金江、万小勇、徐学礼、罗俊锋、丁照崇、王越、高岩、刘冬青、吴艳华
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