YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法
YS/T 24-2016
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标准YS/T 24-2016标准状态
- 发布于：2016-04-05
- 实施于：2016-09-01
- 废止
内容简介
行业标准《外延钉缺陷的检验方法》，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
起草单位
南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人
马林宝、杨帆、孙燕、徐新华
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