SJ/T 11635-2016 电子工业用显影液中碳酸根离子的测定 自动电位滴定法

SJ/T 11635-2016

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标准SJ/T 11635-2016标准状态

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  • 标准名称:电子工业用显影液中碳酸根离子的测定 自动电位滴定法
  • 标准号:SJ/T 11635-2016
  • 发布日期:2016-04-05
  • 实施日期:2016-09-01
  • 中国标准号:L90
  • 国际标准号:31.030
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:电子学SJ 电子电子电子技术专用材料

内容简介

行业标准《电子工业用显影液中碳酸根离子的测定 自动电位滴定法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了用自动电位滴定法测定电子工业用显影液中碳酸根离子含量的方法。本标准适用于电子工业用显影液中碳酸根离子含量的测定。本方法碳酸根离子的最低检测浓度为5mg/kg。

起草单位

杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

陈玉英、尹云舰、叶青、

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