SJ/T 11634-2016 电子工业用显影液中甲醇的测定 顶空气相色谱法
SJ/T 11634-2016
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标准SJ/T 11634-2016标准状态
- 发布于：2016-04-05
- 实施于：2016-09-01
- 废止
内容简介
行业标准《电子工业用显影液中甲醇的测定 顶空气相色谱法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了用顶空气相色谱法测定电子工业用显影液中甲醇含量的方法。本标准适用于电子工业用显影液中甲醇含量的测定。本方法甲醇最低检测浓度为1mg/kg。
起草单位
杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
陈玉英、尹云舰、黄德新、
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