SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范
SJ/T 11576-2016
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标准SJ/T 11576-2016标准状态
- 发布于：2016-01-15
- 实施于：2016-06-01
- 废止
内容简介
行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本规范规定了喷雾式涂覆设备(以下简称“设备”)的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。
起草单位
沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、
起草人
贺立波、徐春旭、汪明波、
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