SJ/T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

SJ/T 11554-2015

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  • 标准名称:用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量
  • 标准号:SJ/T 11554-2015
  • 发布日期:2015-10-10
  • 实施日期:2016-04-01
  • 中国标准号:L90
  • 国际标准号:31.030
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:电子学SJ 电子电子电子技术专用材料

内容简介

行业标准《用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了采用电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)测定氢氟酸中金属元素的试验方法。本标准适用于电子工业用氢氟酸中微量金属元素如钠(Na)、镁(Mg)、铝(Al)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、钒(V)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、砷(As)、锶(Sr)、银(Ag)、镉(Cd)、锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅(Pb)的测定。本标准适用于微量测定,推荐测定元素的浓度范围为0.01mg/L~1mg/L。应用本标准测定的电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES)应有较好

起草单位

苏州晶瑞化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等、同济大学、

起草人

刘兵、钱森林、王洪华、

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