SJ/T 11555-2015 用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中金属元素的含量
SJ/T 11555-2015
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标准SJ/T 11555-2015标准状态
- 发布于：2015-10-10
- 实施于：2016-04-01
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内容简介
行业标准《用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中金属元素的含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了采用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定硝酸中金属元素的试验方法。本标准适用于电子工业用硝酸中痕量金属元素钠(Na)、镁(Mg)、铝(Al)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、钒(V)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、砷(As)、锶(Sr)、银(Ag)、镉(Cd)、锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅(Pb)的测定。本方法标准适用于痕量测定，推荐测定元素的浓度范围为0.1μg/L～100μg/L。应用本标准时，电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)应放在不低于G
起草单位
苏州晶瑞化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等、同济大学、
起草人
刘兵、钱森林、王洪华、
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