SJ/T 11488-2015 半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法
SJ/T 11488-2015
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标准SJ/T 11488-2015标准状态
- 发布于:2015-04-30
- 实施于:2015-10-01
- 废止
内容简介
行业标准《半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了半绝缘砷化镓单晶电阻率、霍尔系数和霍尔迁移率的测量方法。本标准适用于电阻率在10Ω·cm~10Ω·cm范围内的半绝缘砷化镓单晶材料电学参数的测量。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人
何秀坤、董彦辉、刘兵
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