YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定
YS/T 987-2014
行业标准 推荐性
收藏
报错
标准YS/T 987-2014标准状态
- 发布于：2014-10-14
- 实施于：2015-04-01
- 废止
内容简介
行业标准《氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法,主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.00001%~1.00%。
起草单位
四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、南京中锗科技股份有限公司、新特能源股份有限公司
起草人
敖细平、王波
相近标准
YS/T 1300-2019 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法
HG/T 6153-2023 甲基氯硅烷中乙基二氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
20231313-T-606 工业用二甲基二氯硅烷
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
GB/T 476-2008 煤中碳和氢的测定方法
YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定？气相色谱质谱联用法
SN/T 3005-2011 有机化学品中碳、氢、氮、硫含量的元素分析仪测定方法
GB/T 30304-2013 工业用甲基苯基二氯硅烷
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。