YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
YS/T 936-2013
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标准YS/T 936-2013标准状态
- 发布于：2013-10-17
- 实施于：2014-03-01
- 废止
内容简介
行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。
起草单位
有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院、宁波江丰电子材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人
董亭义、何金江
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