GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语

Terminology for nano positioning and scaning stage

GB/T 38616-2020

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标准GB/T 38616-2020标准状态

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标准详情

  • 标准名称:纳米定位与扫描平台术语
  • 标准号:GB/T 38616-2020
  • 发布日期:2020-04-28
  • 实施日期:2020-11-01
  • 中国标准号:N10
  • 国际标准号:01.040.39
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国电子测量仪器标准化技术委员会
  • 主管部门:工业和信息化部(电子)
  • 标准分类:综合、术语学、标准化、文献词汇精密机械、珠宝(词汇)

内容简介

国家标准《纳米定位与扫描平台术语》由TC153(全国电子测量仪器标准化技术委员会)归口,主管部门为工业和信息化部(电子)。
本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。

起草单位

沈阳建筑大学、广东工业大学、苏州昊通仪器科技有限公司、三英精控(天津)仪器设备有限公司、中国计量科学研究院、沈阳理工大学、

起草人

须颖、 戴敬、 施玉书、 贾静、 王贺、 安冬、邵萌、戴超、文杰、

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