GB/T 10067.410-2014 电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉
Basic specifications for electroheat installations―Part 410: Single crystal growing furnace
GB/T 10067.410-2014
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标准GB/T 10067.410-2014标准状态
- 发布于：2014-12-05
- 实施于：2015-04-16
- 废止
内容简介
国家标准《电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉》由TC121（全国工业电热设备标准化技术委员会）归口，主管部门为中国电器工业协会。
GB／T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
起草单位
西安电炉研究所有限公司、西安理工晶科股份有限公司、国家电炉质量监督检验中心、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、陕西省电炉工程技术研究中心、
起草人
陈巨才、 李留臣、 朱琳、 袁芳兰、束天和、
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