标准详情
- 标准名称：纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
- 标准号：GB/T 36969-2018
- 发布日期：2018-12-28
- 实施日期：2018-12-28
- 中国标准号：J04
- 国际标准号：17.040.20
- 代替标准：
- 技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
- 主管部门：中国科学院
- 标准分类：计量学和测量、物理现象长度和角度测量表面特征
GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
GB/T 36969-2018
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标准GB/T 36969-2018标准状态
- 发布于：2018-12-28
- 实施于：2018-12-28
- 废止
内容简介
国家标准《纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
本标准规定了使用原子力显微术（AFM）测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
起草单位
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心、
起草人
李慧琴、 金承钰、 韦菲菲、 梁齐、何丹农、
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