GB/T 43885-2024 碳化硅外延片
Silicon carbide epitaxial wafers
GB/T 43885-2024
国家标准 推荐性标准GB/T 43885-2024标准状态
- 发布于:2024-04-25
- 实施于:2024-11-01
- 废止
内容简介
国家标准《 碳化硅外延片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了碳化硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于在导电型碳化硅衬底上,生长碳化硅同质外延层的外延片,产品用于制作碳化硅电力电子器件。
起草单位
南京国盛电子有限公司、上海天岳半导体材料有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山西烁科晶体有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、上海合晶硅材料股份有限公司、杭州乾晶半导体有限公司、浙江晶睿电子科技有限公司、沈阳星光技术陶瓷有限公司、海迪科(南通)光电科技有限公司、连科半导体有限公司、广东天域半导体股份有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、TCL环鑫半导体(天津)有限公司、南京盛鑫半导体材料有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、中电化合物半导体有限公司、江苏华兴激光科技有限公司、湖南三安半导体有限责任公司、宁波合盛新材料有限公司、深圳基本半导体有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、
起草人
李国鹏、 仇光寅、 李素青、 丁雄杰、 冯淦、 杨玉聪、 薛宏伟、 刘红超、 刘薇、 王岩、 陈浩、 袁肇耿、 汪之涵、 黄勤金、 和巍巍、 刘勇、骆红、舒天宇、佘宗静、王银海、侯晓蕊、金向军、尚海波、徐所成、李毕庆、周勋、刘长春、赵丽丽、胡动力、
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